Звіт про науково-дослідну роботу: „Нанострукторовані фотолюмінісцентні плівки на основі Si і SiCN, механізми голубої фотоемісії "

Abstract

МЕТА РОБОТИ – розробка дешевих плазмохімічних плівок Si і SiCN, осаджених при низьких температурах, з яскравою фотолюмінесценцією, зокрема в голубій області спектру.